
工况:镀膜、干燥或检测用的腔体,每批需要从常压抽到设定的粗真空度(常见 10 ~ 20 kPa),然后由高真空泵接续。这一段的抽气量最大,选泵偏小就会拖长节拍。
选型思路:抽除时间按 t = (V / S) · ln(p₁ / p₂) 估算,V 为腔体容积、S 为有效抽速、p₁ 为起始压力、p₂ 为目标压力。这一公式给出的是理想值:实际抽速会随压力下降而降低,管路的通径、长度、弯头与阀门都会进一步扣减有效抽速,实际用时会比计算值长。
配置方向:以 0.5 m³ 腔体、目标 10 kPa 为例,用 V25/40(40 m³/h)计算的理论抽除时间约 2 分钟量级,但接管通径偏小或弯头较多时明显变长。腔体较大或多个腔体共用一台泵时,应改用更大抽速的机型或加装真空罐分担峰值。
注意事项:工艺残留(粉尘、水汽、溶剂蒸汽)需在泵前设过滤与冷凝;泵装在设备内部时留出散热空间;长时间连续抽气时注意机身温升。
本页为选型方法说明,非具体项目记录。