Betriebsbedingungen: Kammern für Beschichtung, Trocknung oder Prüfung müssen pro Charge vom Atmosphärendruck auf den festgelegten Grobvakuumdruck evakuiert werden (üblich sind 10 ~ 20 kPa); anschließend übernimmt die Hochvakuumpumpe. In diesem Abschnitt ist das abzufördernde Gasvolumen am größten; eine zu klein gewählte Pumpe verlängert den Takt.
Auslegungsansatz: Die Evakuierungszeit wird nach t = (V / S) · ln(p₁ / p₂) abgeschätzt, wobei V das Kammervolumen, S die effektive Saugleistung, p₁ den Ausgangsdruck und p₂ den Zieldruck bezeichnen. Diese Formel liefert einen Idealfall: Die tatsächliche Saugleistung sinkt mit fallendem Druck; Nennweite, Länge, Bögen und Ventile der Rohrleitung reduzieren die effektive Saugleistung zusätzlich, sodass die tatsächliche Zeit länger als der berechnete Wert ist.
Konfigurationsrichtung: Für eine Kammer mit 0.5 m³ und einem Ziel von 10 kPa ergibt sich mit V25/40 (40 m³/h) eine theoretische Evakuierungszeit in der Größenordnung von etwa 2 Minuten; bei zu kleiner Anschlussnennweite oder vielen Bögen verlängert sie sich jedoch deutlich. Bei größeren Kammern oder wenn mehrere Kammern eine Pumpe gemeinsam nutzen, sollte ein Modell mit größerer Saugleistung eingesetzt oder ein Vakuumbehälter zur Spitzenlastverteilung ergänzt werden.
Hinweise: Prozessrückstände (Staub, Wasserdampf, Lösungsmitteldampf) sind vor der Pumpe durch Filter und Kondensatabscheidung abzuscheiden; bei Einbau der Pumpe im Geräteinneren ist für Wärmeabfuhr zu sorgen; bei langer kontinuierlicher Evakuierung ist die Temperaturerhöhung des Pumpengehäuses zu beachten.
Diese Seite beschreibt die Auslegungsmethodik und ist kein konkretes Projektprotokoll.