Einsatzbedingungen: Spektrometer und vergleichbare optoelektronische Prüf- und Sortiergeräte müssen Wafer, Linsen oder Chips an der Prüfstation sicher ansaugen, damit das Prüfstück während der Messung keine Lageveränderung erfährt; beim Sortieren und Transport kann zudem ein Halten und Umsetzen per Saugkraft erforderlich sein.
Anforderungen: Die Saugflächen sind meist sehr klein; das Vakuum muss gleichmäßig sein und darf keine deutlichen Pulsationen aufweisen, damit das Werkstück während der Messung nicht zittert. Die Prüfung erfolgt in einer Reinraumumgebung; die Abluft darf keinen Ölnebel enthalten. Bei vielen Stationen und häufigen Bewegungsabläufen muss die Pumpe häufig zusammen mit dem Gerät ein- und ausgeschaltet werden.
Auslegung: Erforderliches Vakuum und Förderstrom nach Saugfläche und Werkstückgewicht berechnen; kleine ölfreie Drehschieberpumpen können die meisten Stationen versorgen. Wenn eine Pumpe mehrere Saugstationen versorgt, wird empfohlen, in der Leitung einen Vakuumbehälter und ein Rückschlagventil vorzusehen, um gegenseitige Störungen zwischen den Stationen zu verringern. V8, V10 und V16 sind kompakt und eignen sich für den Einbau im Geräteinneren.
Hinweise: Zwischen Saugstation und Pumpe Filter und Staubabscheidung vorsehen, damit keine Partikel in das Pumpeninnere gelangen; bei dünnen und zerbrechlichen Werkstücken die Saugkraft begrenzen und eine Drucküberwachung vorsehen; undichte Leitungsverbindungen sind eine häufige Ursache für instabile Saugwirkung und müssen regelmäßig geprüft werden.
Diese Seite dient als Erläuterung zur Auswahlmethodik und ist keine Aufzeichnung eines konkreten Projekts.