Die Unterschiede bei der Auswahl von Vakuumpumpen ergeben sich vor allem aus den Anforderungen des Prozesses an Vakuumgrad, Saugvermögen und Medium, nicht aus der Branche selbst. Innerhalb derselben Branche erfordern Halten und Transportieren sowie das Evakuieren einer Kammer vollkommen unterschiedliche Konfigurationen.
Im Folgenden sind Anforderungen und Konfigurationsrichtungen nach häufigen Anwendungsszenarien zusammengestellt. Jede Seite nennt die Eingangsgrößen, die für den jeweiligen Prozess tatsächlich bestätigt werden müssen, sowie Empfehlungen zu Rohrleitungen, Filtration und Kondensation.
