Wenn der Vakuumbedarf mehrerer Stationen auf eine einzige Vakuumquelle konzentriert wird, lassen sich die Anzahl der Geräte reduzieren und die zentrale Abluftführung sowie Wartung erleichtern. Dabei müssen jedoch das Arbeitsvakuum, der momentane Durchfluss und der Gleichzeitigkeitsfaktor der einzelnen Stationen klar erfasst werden; andernfalls kann es in Spitzenzeiten zu einem Abfall des Vakuumniveaus kommen.
Üblich ist die Kombination einer Vakuumpumpe mit einem Vakuumbehälter: Die Pumpe wird nach dem durchschnittlichen Durchfluss ausgelegt, der Vakuumbehälter übernimmt die momentanen Spitzen; das Behältervolumen wird anhand der Differenz zwischen Spitzen- und Minimalwerten sowie der zulässigen Druckschwankung festgelegt. Die Rohrleitungen werden im Nenndurchmesser nach dem Gesamtdurchfluss des Systems ausgelegt, die Zweigleitungen erhalten Ventile und Filter.
Ölfreie Drehschieberpumpen können direkt zu einem solchen System zusammengestellt werden; die Abluft kann gesammelt über Rohrleitungen nach außen geführt werden. Wenn sich die von den einzelnen Stationen geforderten Vakuumniveaus stark unterscheiden, empfiehlt sich eine gestufte Auslegung: Stationen mit hohem Vakuum und Stationen mit niedrigem Vakuum werden getrennt, um zu vermeiden, dass die gesamte Anlage einheitlich nach den Anforderungen der Hochvakuumstationen betrieben wird und dadurch Energie verschwendet wird.