Vakuumsysteme von Beschichtungslinien sind üblicherweise stufenweise ausgelegt: Eine mechanische Pumpe evakuiert von Atmosphärendruck auf Grobvakuum, danach übernimmt eine Hochvakuumpumpe. Ölfreie Drehschieberpumpen werden häufig in der Vorstufe und im Vorabsaugbereich eingesetzt, außerdem an Stationen zum Einspannen und Halten sowie zur Kammerreinigung.
Bei diesen Betriebsbedingungen sind drei Punkte zu beachten: Erstens gelangen Prozessrückstände im abgesaugten Gas (geringe Mengen Staub, Wasserdampf, Lösungsmitteldampf) in den Pumpenraum; deshalb sind vor der Pumpe Filter und Kondensation vorzusehen. Zweitens beeinflusst die Vorabsaugzeit direkt den Takt; sie sollte anhand des Kammervolumens, des geforderten Vorabsaug-Vakuums und des effektiven Saugvermögens der Pumpe berechnet werden. Drittens die Wärmeabfuhr im Dauerbetrieb: Wird die Pumpe im Inneren eines Geräts eingebaut, ist Raum für Belüftung vorzusehen.
Druckverluste durch Rohrnennweiten, Ventile und Krümmer verlängern die Vorabsaugzeit deutlich. Bei der Auswahl ist der Systemwiderstand mit einzubeziehen, statt nur das Saugvermögen auf dem Pumpentypenschild zu betrachten.