Der Evakuierungsprozess eines Ofens zur Vakuum-Wärmebehandlung beginnt bei Atmosphärendruck. Die erste Phase wird von mechanischen Pumpen übernommen; kennzeichnend sind große Gasmengen, häufige Anläufe sowie eine möglicherweise erhöhte Temperatur und Feuchtigkeit des abgesaugten Gases.
Ölfreie Drehschieberpumpen können direkt das Vorpumpen und das Halten des Grobvakuums übernehmen; falls im Ofen flüchtige Stoffe oder Wasserdampf vorhanden sind, müssen vor der Pumpe eine Kondensation und eine Filterung vorgesehen und das Kondensat regelmäßig abgeführt werden. Die Zeit, die zum Erreichen des eingestellten Grobvakuums erforderlich ist, wird anhand des Ofenvolumens und des effektiven Saugvermögens der Pumpe abgeschätzt; ein unzureichender Anschlussdurchmesser verlängert die Zeit deutlich.
Die Betriebsbedingungen von Vakuumtrocknung, Vakuumentgasung und Vakuumimprägnierung (Tränkung) ähneln denen der Wärmebehandlung: Zu Beginn liegt eine große Menge Gas bei Atmosphärendruck vor, anschließend folgt eine geringe Menge Wasserdampf oder Lösemitteldampf. Bei der Auswahl sind gleichzeitig das Arbeitsvakuum, das Saugvermögen und das Ziel für die Evakuierungszeit pro Vorgang anzugeben.