Die zweistufige Konstruktion schaltet zwei Pumpenkammern in Reihe: Das von der Vorstufe geförderte Gas wird von der nachgeschalteten Stufe noch einmal verdichtet, wodurch das Endvakuum vom 0.5-mbar-Bereich der einstufigen Pumpe auf den 10⁻⁴-mbar-Bereich sinkt. Bei 2V80 beträgt das Endvakuum mit geschlossenem Gasballast 4×10⁻⁴ mbar, bei 2V275 5×10⁻⁴ mbar; mit geöffnetem Gasballast liegen beide bei 5×10⁻³ mbar.
2V80: Saugvermögen 74 m³/h (50Hz), 3 kW, Einlass ISO40/KF40, Auslass NW25/KF25, 125 kg. 2V275: Saugvermögen 255 m³/h, 7.5 kW, Einlass ISO63, Auslass ISO40, 225 kg, mit Kühlwasserkreis: zulässiger Druck im Kühlkreis 3 bar, empfohlener Mindestdurchfluss bei 20℃ 120 L/h.
2V275 benötigt einen Kühlwasseranschluss; dies ist der wesentliche Unterschied zu 2V80 bei der Installation. An Standorten ohne Umlaufwasser ist vorab ein Kühlwassergerät oder ein Wassertank vorzusehen.
Typische Anwendungen: Vakuumimprägnierung, Vakuumbeschichtung, Mikroelektronik und optoelektronische Halbleiter, Packaging und Test, Plasmareinigung, Vorstufe für Vakuumtrocknung und Gefriertrocknung. Diese Prozesse erfordern ein Vakuum unterhalb von 10⁻³ mbar, das eine einstufige Pumpe nicht erreicht.
Das Gasballastventil wird beim Fördern von Wasserdampf oder kondensierbaren Gasen geöffnet; das Endvakuum fällt dann auf den 10⁻³-mbar-Bereich zurück. Wenn der Prozess das Endvakuum erfordert, muss der Gasballast geschlossen und auf der Saugseite eine Kältefalle installiert werden.
Technische Daten
| Nennsaugvermögen 50/60Hz (2V80 / 2V275) | 74/90 · 255/306 m³/h |
|---|---|
| Endvakuum (Gasballast geschlossen) | 4×10⁻⁴ / 5×10⁻⁴ mbar |
| Endvakuum (Gasballast geöffnet) | 5×10⁻³ mbar |
| Motorleistung | 3 / 7.5 kW |
| Spannung | 三相 220/240V、380/415V |
| Sauganschluss / Auslassanschluss (2V80) | ISO40(KF40) / NW25(KF25) |
| Sauganschluss / Auslassanschluss (2V275) | ISO63 / ISO40 |
| Geräuschpegel | 70 dB |
| Ölmenge | 5 / 18 L |
| Gewicht | 125 / 225 kg |