La sala de bombas del taller de recubrimiento suele estar a cierta distancia de la cámara. Tres cámaras de recubrimiento comparten un grupo de bombas; carga de sustratos, bombeo, recubrimiento, venteo y descarga: al completar un ciclo, lo que el operador percibe de forma directa es el ritmo: en el turno de mañana, ese lote tarda 6 minutos desde presión atmosférica hasta la presión de transferencia; por la tarde, el mismo lote tarda 8 minutos y medio. La cámara no cambió, las bombas tampoco reportaron fallas, pero los parámetros no se mantienen estables.
Esta situación de «bombear cada vez más despacio» en la mayoría de los casos no se debe a que la bomba esté averiada, sino a que la velocidad de bombeo cae en la etapa intermedia. Los siguientes son puntos que se encuentran repetidamente en la solución de problemas real.
I. La preevacuación se divide en dos etapas y cada una requiere cosas distintas
La cámara de recubrimiento pasa de presión atmosférica a vacío de proceso, atravesando dos tramos. Desde presión atmosférica hasta decenas de milibares, el volumen de gas es grande y se transporta con la bomba mecánica primaria; al entrar en bajo vacío, la etapa booster toma el relevo y sigue bajando la presión; en el tramo de alto vacío, se pasa a la bomba molecular o a la bomba de difusión. Si la bomba primaria se elige pequeña, el tramo inicial es lento; si la etapa booster no está bien dimensionada, el tramo posterior se retrasa.
En este tramo, la bomba de paletas rotativas de una etapa con sello de aceite es una configuración habitual. La V0155 tiene una velocidad de bombeo de 150 m³/h (50Hz), motor de 4.0 kW, vacío límite con balasto de gas cerrado de 0.3 mbar, y puertos de entrada y salida G2"; hacia arriba, la V0160 es de 160 m³/h, 4 kW, con balasto de gas cerrado 0.1 mbar; la V0202 es de 200 m³/h, 5.5 kW, con balasto de