Conditions d’utilisation : pour les chambres utilisées en revêtement, séchage ou contrôle, chaque cycle doit être pompé depuis la pression atmosphérique jusqu’au niveau de vide primaire défini (souvent 10 ~ 20 kPa), puis pris en relais par une pompe à vide poussé. C’est dans cette phase que la quantité de gaz à évacuer est la plus importante ; une pompe sous-dimensionnée allonge la cadence.
Méthode de dimensionnement : le temps d’évacuation est estimé par t = (V / S) · ln(p₁ / p₂), où V est le volume de la chambre, S la vitesse de pompage effective, p₁ la pression initiale et p₂ la pression cible. Cette formule donne une valeur idéale : la vitesse de pompage réelle diminue lorsque la pression baisse, et le diamètre, la longueur, les coudes et les vannes de la tuyauterie réduisent encore la vitesse effective ; le temps réel est donc plus long que la valeur calculée.
Orientation de configuration : avec une chambre de 0.5 m³ et une cible de 10 kPa, le temps d’évacuation théorique calculé avec le V25/40 (40 m³/h) est de l’ordre de 2 minutes, mais il augmente sensiblement si le diamètre de raccordement est trop petit ou si les coudes sont nombreux. Lorsque la chambre est plus grande ou que plusieurs chambres partagent une même pompe, il convient d’utiliser un modèle à vitesse de pompage plus élevée ou d’ajouter un réservoir à vide pour absorber les pointes.
Points d’attention : les résidus de procédé (poussières, vapeur d’eau, vapeurs de solvant) nécessitent une filtration et une condensation en amont de la pompe ; lorsque la pompe est installée à l’intérieur de l’équipement, prévoir un espace pour la dissipation thermique ; en cas de pompage continu prolongé, surveiller l’élévation de température du corps de pompe.
Cette page est une description de méthode de dimensionnement, et non un relevé de projet spécifique.