Dépôt sous vide et traitement de surface

Le système de vide d’une ligne de dépôt est généralement configuré par étages : la pompe mécanique assure le pompage depuis la pression atmosphérique jusqu’au vide primaire, puis une pompe à vide poussé prend le relais. Les pompes à palettes sans huile sont souvent installées dans l’étage primaire et la section de pré-pompage, ainsi qu’aux postes de maintien par fixation et de nettoyage de chambre.

Trois points doivent être pris en compte dans ce type de conditions : premièrement, les résidus de procédé dans le gaz aspiré (une petite quantité de poussières, d’humidité, de vapeurs de solvant) pénètrent dans la chambre de pompe ; il convient de prévoir une filtration et une condensation en amont de la pompe ; deuxièmement, le temps de pré-pompage influe directement sur la cadence ; il doit être calculé en fonction du volume de la chambre, du niveau de vide de pré-pompage requis et de la vitesse de pompage effective de la pompe ; troisièmement, la dissipation thermique en fonctionnement continu : lorsque la pompe est installée à l’intérieur de l’équipement, il faut prévoir un espace de ventilation.

Les pertes de charge dues au diamètre des tuyauteries, aux vannes et aux coudes allongent sensiblement le temps de pré-pompage. Lors du choix, il faut intégrer la résistance du système dans le calcul, sans se limiter à la vitesse de pompage indiquée sur la plaque de la pompe.

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