Semi-conducteurs et fabrication électronique

Dans la fabrication électronique, les besoins en vide sont souvent intermittents, de courte durée et propres : préhension et transport des plaquettes et substrats, maintien des composants en position aux postes de placement et de liaison, évacuation des particules et des composés volatils aux postes d’inspection et de nettoyage. Ces conditions d’utilisation exigent de manière commune un échappement sans brouillard d’huile, des démarrages et arrêts fréquents, ainsi qu’un encombrement réduit pour une intégration à l’intérieur des équipements.

Les pompes à palettes sèches ne produisent pas de brouillard d’huile côté échappement ; leur raccordement et leur maintenance sont simples, ce qui les rend adaptées comme source de vide pour ces équipements. Lors du choix, il convient de vérifier en priorité : le niveau de vide de service requis (le maintien se situe généralement en dessous de 80 kPa), le débit instantané déterminé par la surface d’aspiration et le poids de la pièce, ainsi que le nombre de démarrages et d’arrêts par minute.

Si le poste est sensible aux particules, il est recommandé d’installer un élément filtrant côté admission et de le remplacer régulièrement ; si le gaz aspiré contient des composés volatils de flux, il convient de prévoir une séparation par condensation en amont de la pompe.

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Merci de préciser la vitesse de pompage requise, le vide limite, le type de gaz, la présence de poussières et de corrosion, le mode de fonctionnement et l'alimentation électrique ; nous proposerons un modèle adapté à votre application.

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