Dans un atelier de dépôt, la salle des pompes se trouve généralement à une certaine distance de la chambre. Trois chambres de dépôt partagent un même groupe de pompage ; chargement des pièces, mise sous vide, dépôt, remise à l’air, déchargement : à chaque cycle, l’opérateur perçoit très directement le rythme : la fournée du matin met 6 minutes pour passer de la pression atmosphérique à la pression de transfert, tandis que la même fournée l’après-midi en met 8 minutes et demie. La chambre n’a pas changé et la pompe ne signale pas de panne, mais les paramètres ne restent pas stables.
Ce phénomène de « pompage de plus en plus lent » ne vient la plupart du temps pas d’une pompe défectueuse, mais d’une chute de la vitesse de pompage dans la plage intermédiaire. Voici plusieurs points rencontrés de façon récurrente lors des diagnostics réels.
1. Le pré-pompage se fait en deux étapes, chacune avec des exigences différentes
La chambre de dépôt est pompée de la pression atmosphérique jusqu’au vide de procédé, en traversant deux plages. De la pression atmosphérique à quelques dizaines de millibars, le volume de gaz est important et le transport est assuré par la pompe mécanique primaire ; une fois le vide grossier atteint, l’étage de surpression prend le relais pour faire descendre encore la pression, puis la plage de vide poussé est confiée à une pompe turbomoléculaire ou à une pompe à diffusion. Si la pompe primaire est sous-dimensionnée, la première phase est lente ; si l’étage de surpression est mal adapté, la phase suivante traîne.
Les pompes à palettes lubrifiées à un étage sont la configuration courante pour cette phase. La V0155 offre une vitesse de pompage de 150 m³/h (50Hz), un moteur de 4.0 kW, un vide limite ballast de gaz fermé de 0.3 mbar et des orifices d’aspiration/refoulement G2" ; au-dessus, la V0160 est à 160 m³/h, 4 kW, 0.1 mbar ballast de gaz fermé ; la V0202 est à 200 m³/h, 5.5 kW, également 0.1 mbar ballast de gaz fermé ; pour une chambre plus grande, on utilise la V0302, 300 m³/h, 7.5 kW. Lorsque l’espace d’installation est limité et qu’il faut environ 280 m³/h, on peut considérer la V300B : 5.5 kW, 0.08 mbar ballast de gaz fermé, corps de 1100 mm. Pour cette gamme de machines en fonctionnement continu, la pression de travail doit être inférieure à -300 mbar (pression relative) et la température ambiante de 0~35℃.
2. La vitesse de pompage d’une pompe Roots varie avec la pression d’entrée ; ce n’est pas la valeur de la plaque signalétique
Les cinq modèles de la série LC ont des vitesses de pompage nominales de 250, 500, 1200, 2600 et 4200 m³/h (50Hz), avec des puissances moteur respectives de 2.2, 2.2, 4.0, 7.5 et 11 kW, et des orifices d’aspiration allant de ISO63 à ISO250. Ces chiffres correspondent à une pression d’entrée suffisamment élevée. Lorsque la pression descend, le débit de gaz que la pompe Roots peut évacuer diminue ; la vitesse de pompage réelle dépend alors de plus en plus de la capacité restante de la pompe primaire au même point de pression.
L’ordre de sélection est donc le suivant : définir d’abord la pression de travail, choisir ensuite le modèle Roots en fonction de la vitesse de pompage nécessaire à ce point de pression, puis vérifier la