La capacité de production et la régularité des couches d’une ligne de revêtement reposent en grande partie sur l’étape de pompage. Pour la même chambre et le même lot de pièces, l’équipe du matin met 6 minutes pour passer de la pression atmosphérique à la pression de transfert, tandis que le même cycle demande 8 min 30 l’après-midi ; la chambre n’a pas changé et la pompe ne signale aucune panne, mais le rythme ne tient pas. Cette impression de « pompage de plus en plus lent » ne vient le plus souvent pas d’une pompe défaillante, mais d’une baisse de la vitesse de pompage effective en cours de phase.
Si un système de vide pour revêtement sous vide (PVD) craint les fluctuations de la vitesse de pompage, c’est qu’il est soumis en même temps à trois contraintes : le rythme (une minute de retard au pré-pompage se retrouve à chaque cycle), la pression de base (si la pression avant l’entrée en process n’est pas atteinte, l’adhérence et l’uniformité de la couche dérivent), la pression de process (l’étape de pulvérisation maintient une pression de travail de l’ordre de 10⁻³～10⁻² mbar au moyen d’une vanne d'
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