L’un des malentendus les plus fréquents en réunion de sélection est de prendre le vide limite pour « la pression minimale à laquelle cette pompe peut tirer la chambre ». La différence entre le vide limite et le vide de travail tient, au fond, à ce qu’une valeur est mesurée à l’orifice de la pompe sans charge, tandis que l’autre est mesurée dans le récipient avec une charge. Pour une même V0100, dont la fiche technique indique 0.1 mbar, raccordée à une chambre avec une tuyauterie de trois mètres, deux coudes et une légère fuite au plan d’étanchéité, la pression stabilisable peut être de 0.4 à 0.5 mbar ; dès que le gaz de procédé est ouvert, elle peut être encore plus élevée. La pompe n’est pas en panne : le calcul est faux.
I. Les conditions de mesure des deux valeurs ne sont pas comparables
Vide limite (également appelé pression limite dans les fiches techniques) : valeur vers laquelle la pression à l’admission tend asymptotiquement, après que la pompe a été remplie d’huile selon les prescriptions, le ballast de gaz fermé et l’orifice d’admission obturé, et qu’elle a fonctionné jusqu’à stabilisation de la température de l’huile, lorsque la pression d’admission cesse de baisser. Le point de mesure se trouve à l’orifice de la pompe, sans tuyauterie, sans récipient et sans charge gazeuse en amont.
Vide de travail : pression à maintenir dans la chambre. Cette pression est fixée par le procédé et dépend de quatre sources de gaz : le taux de fuite, le dégazage des parois de la chambre et des pièces, l’évaporation des substances condensables et le gaz introduit par le procédé. Le rôle de la pompe est d’évacuer le débit gazeux correspondant à la somme de ces quatre contributions ; si elle y parvient, la pression reste stable au point de consigne ; sinon, elle dérive vers le haut.
Les deux colonnes de la fiche technique correspondent déjà à deux régimes de fonctionnement :
| Modèle | Débit de pompage nominal (50Hz) | Vide limite (ballast de gaz fermé) | Vide limite (ballast de gaz ouvert) |
|---|---|---|---|
| V0025A | 20 m³/h | 0.5 mbar | — |
| V0040A | 40 m³/h | 0.1 mbar | 0.5 mbar |
| V0063 | 63 m³/h | 0.1 mbar | 0.5 mbar |
| V0100 | 100 m³/h | 0.1 mbar | 0.5 mbar |
| V0155 | 150 m³/h | 0.3 mbar |
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