Pompe à vide à palettes rotatives à joint d'huile à deux étages 2V80 / 2V275

La structure à deux étages met les deux chambres de pompage en série : le gaz aspiré par l’étage primaire est recomprimé une fois par l’étage secondaire, ce qui fait passer le vide limite du niveau de 0.5 mbar d’un étage simple à celui de 10⁻⁴ mbar. Pour la 2V80, le vide limite avec ballast d’air fermé est de 4×10⁻⁴ mbar ; pour la 2V275, il est de 5×10⁻⁴ mbar ; avec ballast d’air ouvert, il est de 5×10⁻³ mbar dans les deux cas.

La 2V80 offre une vitesse de pompage de 74 m³/h (50Hz) et une puissance de 3 kW, avec admission ISO40/KF40, refoulement NW25/KF25 et un poids de 125 kg. La 2V275 offre une vitesse de pompage de 255 m³/h et une puissance de 7.5 kW, avec admission ISO63, refoulement ISO40 et un poids de 225 kg ; elle est équipée d’un circuit de refroidissement à eau : la pression admissible du circuit de refroidissement est de 3 bar, et le débit minimal recommandé à 20℃ est de 120 L/h.

La 2V275 doit être raccordée à l’eau de refroidissement ; c’est la principale différence d’installation par rapport à la 2V80 ; sur les sites sans eau de circulation, prévoir à l’avance un refroidisseur d’eau ou un réservoir d’eau.

Applications typiques : imprégnation sous vide, dépôt sous vide, microélectronique et semi-conducteurs optoélectroniques, tests d’encapsulation, nettoyage par plasma, étage primaire pour le séchage sous vide et la lyophilisation. Ces procédés exigent un niveau de vide inférieur à 10⁻³ mbar, que les pompes à un seul étage ne permettent pas d’atteindre.

Le ballast d’air s’ouvre lors du pompage de vapeur d’eau ou de gaz condensables ; le vide limite redescend alors au niveau de 10⁻³ mbar. Lorsque le procédé exige le vide limite, il faut fermer le ballast d’air et installer en même temps un piège froid côté admission.