把多个工位的真空需求集中到一套真空源上，可以减少设备数量、便于集中排气与维护，但要求把各工位的使用真空度、瞬时流量与同时使用系数统计清楚，否则容易出现高峰期真空度掉下去的问题。
常见做法是真空泵配合真空罐：泵按平均流量选，真空罐承担瞬时峰值，罐体容积按峰谷差与允许的压力波动确定；管路按系统总流量选通径，支路加阀门与过滤。
无油旋片泵可以直接组成这样的系统，排气可集中接管引到室外。若各工位要求的真空度相差较大，建议分级配置，把高真空工位与低真空工位分开，避免整站统一按高真空工位的要求运行造成能耗浪费。