真空镀膜与表面处理

镀膜线的真空系统通常分级配置：机械泵负责从大气抽到低真空，再由高真空泵接续。无油旋片泵常装在前级与预抽段，也用于装夹吸持与腔体清洁工位。

这类工况要关注三点：一是被抽气体中的工艺残留（少量粉尘、水汽、溶剂蒸汽）会进入泵腔，需在泵前设过滤与冷凝；二是预抽时间直接影响节拍，应按腔体容积、要求的预抽真空度与泵的有效抽速核算；三是连续运行时的散热，泵装在设备内部时要留通风空间。

管路通径、阀门与弯头造成的压损会明显拉长预抽时间，选型时把系统阻力一并计入，而不要只看泵的铭牌抽速。