半导体与电子制造

电子制造里的真空需求多为间歇、短时、洁净：吸附搬运晶圆与基板、贴片与键合工位保持元件位置、检测与清洁工位抽走碎屑与挥发物。这类工况的共同要求是排气不带油雾、启停频繁、体积小便于装入设备内部。

无油旋片泵在排气侧不产生油雾，接管与维护简单，适合作为这类设备的配套真空源。选型时重点确认：需要的使用真空度（吸持通常低于 80 kPa）、吸附面积与工件重量决定的瞬时流量、以及每分钟启停次数。

如果工位对颗粒敏感，建议在进气侧加装过滤元件并定期更换；如果被抽气体含助焊剂挥发物，应在泵前设置冷凝分离。