本計算ツールはエンジニアリング上の概算のみを行います。実際のシステムには配管の流動抵抗、漏れ、材料からのアウトガス（outgassing）があり、概算値は一般に楽観的になるため、さらに 1.3～1.5 倍の余裕を見込むことを推奨します。
排気時間の概算
排気速度の単位換算
計算式と前提条件
排気時間は等温・一定排気速度の簡略モデルで算出します：
t = (V / S) × ln(P0 / P1)
- V：チャンバおよび配管の有効容積、m³
- S：目標圧力帯におけるポンプの有効排気速度。m³/s に換算（銘板排気速度 ÷ 3600）
- P0 / P1：開始時および目標の圧力、mbar
排気速度は到達真空に近づくと明らかに低下するため、大気圧から 10 mbar までと 10 mbar から 1 mbar までを同じ S で扱うことはできません。2 段に分けて計算する方が実際に近くなります。
一般的なパラメータ
| ポンプ形式 | 排気速度範囲 | 一般的な目標圧力帯 |
|---|---|---|
| 単段油封ロータリベーン（V シリーズ） | 20 m³/h から、型式による | 大気圧 ~ 0.1 mbar |
| ルーツブースタポンプ（LC シリーズ） | 250 ~ 4200 m³/h | 30 ~ 0.01 mbar（前段ポンプが必要） |
計算で得られた排気速度はあくまで出発点であり、接続口径、配管長さ、エルボ数によって有効排気速度はさらに低下します。運転条件をお送りいただければ、エンジニアが実際の配管に基づいて再確認します。