運転条件：成膜、乾燥、検査に用いるチャンバーでは、各バッチで常圧から設定した粗真空度（一般に 10 ~ 20 kPa）まで排気し、その後、高真空ポンプに切り替えて引き続き排気する。この区間は排気量が大きく、ポンプ選定が小さすぎるとタクトが長くなる。
選定の考え方：排気時間は t = (V / S) · ln(p₁ / p₂) で概算する。V はチャンバー容積、S は有効排気速度、p₁ は開始圧力、p₂ は目標圧力である。この式が与えるのは理想値であり、実際の排気速度は圧力の低下に伴って低下し、配管の内径、長さ、エルボ、バルブが有効排気速度をさらに低減するため、実際の所要時間は計算値より長くなる。
構成の方向性：0.5 m³ のチャンバー、目標 10 kPa を例にすると、V25/40（40 m³/h）で計算した理論排気時間は約 2 分钟程度となるが、接続配管の内径が小さめの場合やエルボが多い場合は明らかに長くなる。チャンバーが大きい場合、または複数のチャンバーで 1 台のポンプを共用する場合は、より大きな排気速度の機種に変更するか、真空タンクを追加してピークを分担させる。
注意事項：プロセス残留物（粉塵、水蒸気、溶剤蒸気）にはポンプ前段にフィルターと凝縮器を設ける。ポンプを装置内部に設置する場合は放熱スペースを確保する。長時間連続排気時は本体の温度上昇に注意する。
本ページは選定方法の説明であり、個別プロジェクトの記録ではない。