使用条件：分光機などの光電検査・選別装置では、ウェーハ、レンズ、チップを検査ステーション上でしっかり吸着固定し、測定中に被測定物が位置ずれしないようにする必要があります。選別・搬送工程では、吸着保持による搬送が必要になる場合もあります。
要件：吸着面は通常非常に小さく、真空度が安定し、明らかな脈動がないことが求められ、測定時のワークのぶれを避けます。検査はクリーン環境で行われるため、排気に油霧を含んではなりません。ステーションが多く動作も頻繁なため、ポンプは装置に合わせて頻繁に起動・停止する必要があります。
構成方針：吸着面積とワーク重量に応じて必要な真空度と流量を算出します。小型オイルフリーロータリベーンポンプで多くのステーションに対応できます。1台のポンプで複数の吸着ステーションに供給する場合は、配管に真空タンクと逆止弁を追加し、ステーション間の相互干渉を低減することを推奨します。V8、V10、V16は比較的小型で、装置内部への組み込みに適しています。
注意事項：吸着ステーションとポンプの間にフィルターと集塵装置を追加し、切粉や異物がポンプ室内に進入するのを防ぎます。ワークが薄く壊れやすい場合は、吸着力を制限し、圧力監視を追加してください。配管継手からの漏れは吸着不安定のよくある原因であるため、定期的に点検する必要があります。
本ページは選定方法の説明であり、個別プロジェクトの記録ではありません。