アプリケーション業界

真空ポンプの選定における違いは、主に業界そのものではなく、プロセスが求める真空度・排気速度・媒体の要件から生じます。同じ業界内でも、吸着搬送とチャンバー粗引きでは必要な構成がまったく異なります。

以下では、一般的なアプリケーションシーンごとに要件と構成の方向性を整理します。各ページでは、そのプロセスで実際に確認すべき入力項目と、配管・フィルタ・凝縮などの付帯設備の提案を示します。

ウェーハ・基板の吸着保持、部品実装、検査ステーションの真空引き。

コーティングチャンバーの予備排気、クランプ吸着、コーティング前のクリーニングと排気補助。

炉体の予備排気、真空乾燥、真空脱気、真空含浸。

包装機の排気、真空吸盤による搬送、開袋・成形ステーション。

包装の排気、真空脱気、粉体輸送、クリーンワークステーション。

減圧蒸留、真空ろ過、真空脱気と溶媒回収の前段。

多ステーション集中排気、真空タンクと配管システムの組み合わせ。

機種選定やお見積りをご希望ですか？

排気速度の要件、到達真空度、ガス種類、粉塵・腐食の状況、運転方式、電源をご提示ください。使用条件に応じて機種をご提案します。