複数のステーションの真空需要を一つの真空源に集中させることで、設備数を削減し、排気とメンテナンスを集中的に行いやすくなりますが、各ステーションの使用真空度、瞬間流量、同時使用係数を正確に把握しておく必要があります。そうでなければ、ピーク時に真空度が低下する問題が発生しやすくなります。
一般的な方法は、真空ポンプと真空タンクを組み合わせるものです。ポンプは平均流量に基づいて選定し、真空タンクが瞬間的なピークを担います。タンクの容量はピークと谷の差および許容される圧力変動に基づいて決定します。配管はシステム全体の総流量に基づいて口径を選定し、支路にはバルブとフィルターを設けます。
オイルフリーロータリーベーンポンプは、このようなシステムを直接構成することができ、排気は集中的に配管で室外へ導くことができます。各ステーションが要求する真空度の差が大きい場合は、段階的な構成を推奨します。高真空ステーションと低真空ステーションを分けることで、ステーション全体を高真空ステーションの要求に合わせて運転することによるエネルギーの無駄を避けることができます。