真空蒸着と表面処理

コーティングラインの真空システムは通常、段階的に構成されます。メカニカルポンプが大気圧から低真空まで排気し、その後、高真空ポンプが引き継ぎます。オイルフリーロータリーベーンポンプは前段および予備排気段に設置されることが多く、クランプ吸着やチャンバークリーニングステーションにも使用されます。

このような工况では三点に注目する必要があります。第一に、排気ガス中のプロセス残留物(少量の粉塵、水蒸気、溶剤蒸気)がポンプチャンバーに進入するため、ポンプ前にフィルターと凝縮器を設置する必要があります。第二に、予備排気時間はタクトに直接影響するため、チャンバー容積、要求される予備排気真空度、ポンプの有効排気速度に基づいて計算する必要があります。第三に、連続運転時の放熱について、ポンプを設備内部に設置する場合は通風スペースを確保する必要があります。

配管径、バルブ、エルボによる圧力損失は予備排気時間を明らかに延長するため、選定時にはシステム抵抗も含めて計算し、ポンプの銘板排気速度だけを見てはいけません。

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