真空熱処理炉の排気プロセスは大気圧から始まり、前半は機械式ポンプが担う。特徴は、ガス量が多く、起動が頻繁で、排気されるガスの温度と湿度が高めになる可能性があることである。
オイルフリーのロータリーベーンポンプは、予備排気と低真空保持を直接担うことができる。炉内に揮発物や水蒸気が存在する場合は、ポンプ前に凝縮器とフィルターを設け、凝縮液を定期的に排出する必要がある。設定した粗真空度まで排気するのに要する時間は、炉体容積とポンプの有効排気速度から見積もる。配管口径が不足すると、時間が大幅に長くなる。
真空乾燥、真空脱気、真空含浸の運転条件は熱処理に近い。開始時は大量の常圧ガスがあり、その後は少量の水蒸気または溶剤蒸気となる。機種選定時には、使用真空度、排気速度、単回排気時間の目標を同時に示す。