電子製造における真空需要は、多くが間欠的で短時間、かつクリーンです。ウェーハや基板の吸着搬送、チップ実装・ボンディングステーションでの部品位置保持、検査・清掃ステーションでの粉じんや揮発物の吸引などが挙げられます。このような条件に共通する要求は、排気にオイルミストが含まれないこと、頻繁な起動停止、装置内部に組み込みやすい小型サイズであることです。
オイルフリー・ロータリーベーン真空ポンプは排気側でオイルミストを発生させず、配管とメンテナンスが簡単で、このような装置の組み込み用真空源として適しています。選定時には、必要な使用真空度（吸着保持では通常 80 kPa 未満）、吸着面積とワーク重量で決まる瞬時流量、毎分の起動停止回数を重点的に確認してください。
ステーションが粒子に敏感な場合は、吸気側にフィルターエレメントを追加し、定期的に交換することを推奨します。吸引ガスにフラックス揮発物が含まれる場合は、ポンプ前に凝縮分離を設置してください。