ここでは、製品情報と真空ポンプの使用・選定に関する技術ノートを掲載しています。
内容は当社の実際のエンジニアリング経験と公開済みの製品パラメータに基づいており、検証できないデータは引用していません。取り上げてほしいテーマがあれば、お問い合わせください。
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製品情報と真空ポンプの技術ノート
オイルフリーベーンオイルフリーロータリーベーン真空ポンプの日常メンテナンスの要点
吸気フィルター、放熱、ベーンの摩耗チェックは、オイルフリーポンプのメンテナンスにおける3つのポイントです。
選定・組み合わせオイルフリーベーン式真空ポンプと油封じベーン式真空ポンプの選び方
清浄性の要件、メンテナンス条件、工况媒体の3つの観点から判断します。
運用・保守粉塵環境における真空ポンプ吸気フィルターの構成方法
濾過精度、設置位置、交換周期がポンプチャンバーの寿命を左右します。
選定・組み合わせ使用条件から型式まで：真空ポンプ選定の六つの入力
排気速度、真空度、媒体、運転方式、電源、設置スペース。どれか一つが欠けても選定を誤る可能性があります。
オイルフリーベーンオイルフリー回転翼真空ポンプに適した用途・条件
排気に油を含まず、メンテナンスはフィルターと消耗品が中心となること、および適さない用途について。
オイルフリーベーン単段式オイルレスロータリーベーン真空ポンプの構造と動作過程
ローター、ベーン、排気弁がどのように吸引力を生み、摩耗後にまずどのような現象が現れるか。
運用・保守真空ポンプの設置と初回運転のチェックポイント
設置場所、配管と排気条件、初回運転のチェックリストと原因調査の順序。
選定・組み合わせ真空配管とバルブ口径：細部が応答速度を左右する
管径は流量で決め、配管は短いほどよく、バルブの通径はポンプ口より小さくしない。
運用・保守真空ポンプの騒音と振動：設置段階からの制御
防振設置、ホースによる振動絶縁、排気消音、騒音値は機種ごとに確認する。
ルーツ・システムルーツポンプを追加する必要があるのはどのような場合か：排気速度と差圧の取捨選択
多量のガスをより速く排気する場合、または低い圧力下でも流量を維持する必要がある場合にのみ、ルーツポンプをブースタ段として使用する。
ルーツ・システム真空成膜ラインの排気速度がなぜ変動するのか：粗引きポンプとブースターポンプの連携
成膜工場のポンプ室は、多くの場合チャンバーから少し離れている。3台の成膜チャンバーが1つのポンプユニットを共用し、基板装着、真空引き、成膜、大気開放、基板取り出しという1サイクルを回す。作業者が直接感じるのはタクトである。早番の炉では常圧から引き渡し圧力まで6 分かかり、午後には同じ炉で8 分半かかる。チャンバーは交換しておらず、ポンプも故障警報を出していないのに、パラメータが安定しない。