設置場所：ポンプは通風が良く、腐食性ガスのない場所に設置する；装置内部に組み込む場合は放熱スペースを確保する。周囲温度が高すぎると、連続運転時の本体温度上昇に直接影響する。
配管：吸気口に接続する配管の口径は流量に基づいて計算し、できるだけ短く、曲がりを少なくする；配管がポンプ本体より低い場合は凝縮液の逆流に注意し、必要に応じて分離タンクを設ける。継手はしっかり締め付ける。微小な漏れは使用真空度を直接押し上げる。
排気：排気口を塞いではならない。また、細すぎる配管を接続しない。排気背圧が上昇すると、吸気側で達成できる使用真空度を直接押し上げる。
初回運転チェック
- 電源電圧と周波数（例：220/240V、50Hz、注文仕様による）を確認し、接地状態を確認する。
- 無負荷運転を行い、音が均一か、異常振動がないかを確認し、本体温度上昇を手で確認する。
- システムに接続した後、使用真空度がプロセス要求を満たすか測定する。
基準を満たさない場合の調査順序：まず漏れ（継手、配管、バルブ）を確認し、次に配管口径とフィルターの詰まりを確認し、その後ポンプの排気速度がシステムの要求に適合しているかを確認し、最後にポンプ本体内部を疑う。
日常記録：排気速度と真空度の変化傾向を記録し、保守判断の根拠とする；フィルターエレメントは前後の差圧に応じて交換し、固定した日数で交換しない。