オイルフリー回転翼ポンプは、ポンプ室内で油を使用せず、ベーンとシリンダー壁によって密封と圧縮を行います。そのため、排気側にオイルミストが発生せず、油交換や廃油処理も不要です。このことが、適する用途を決めています。
排気に油を含められない場合：食品、製薬、光学、電子製造の作業現場では、オイルミストが製品、作業現場、光学部品を汚染します。
清浄性と低メンテナンスが求められる場合：油路がないため、日常メンテナンスはフィルターと消耗品が中心となり、現場で廃油を管理する必要がありません。
頻繁な起動停止と間欠吸引：設備組み込み用途では動作が多く、ポンプは設備に合わせて起動・停止します。油封式ポンプでは、このような条件下でオイルミストや油劣化が生じやすくなります。
排気速度の要求が中小範囲にある場合：吸着搬送、チャンバー予備排気、包装・印刷の吸着などの用途では、排気速度の要求が中小範囲に収まり、オイルフリー回転翼ポンプを直接組み合わせることができます。
一方で、次の点も明確にしておく必要があります。高真空が必要なプロセス（例：成膜、蒸着の真空段階）では、回転翼ポンプは前段ポンプとして使用し、高真空ポンプと組み合わせる必要があります。被排気ガスに多量の粉塵、溶剤蒸気、腐食性成分が含まれる場合は、ポンプ前にフィルターと凝縮器を設け、用途に適合する構造と材質を選定する必要があります。