オイルフリーロータリーベーンポンプは真空ポンプ油を使用しないため、メンテナンスの重点は油交換から、吸気、放熱、ベーンの摩耗という3つの事柄に変わります。
吸気フィルターの交換周期は運転条件に応じて設定します。クリーンルームでは運転時間数に応じて交換できますが、粉体や繊維のある環境では周期を短縮し、フィルターエレメントの破損がないかを定期的に点検する必要があります。フィルターの目詰まりは有効排気速度を直接低下させ、排気が遅くなる、真空度が上がらないといった形で現れます。
放熱については、ポンプ本体の周囲に10 cm以上の通風スペースを確保し、密閉された筐体内での長時間運転を避けてください。環境温度が高い場合は、使用真空度を適切に下げてください。ベーンは消耗部品であり、排気速度の低下、騒音の増大、振動の激化が見られた場合は、運転を停止してベーンとポンプ室の摩耗状況を点検し、交換してください。
毎日の起動前に配管と継手の漏れがないかを確認し、四半期ごとに電気配線とアースを点検してください。