単段式オイルレスロータリーベーン真空ポンプの中心部は、シリンダー内に偏心して取り付けられたローター、ローターの溝の中で摺動する一組のベーン、および吸気・排気通路で構成されます。
ローターが回転すると、ベーンは遠心力によってシリンダー壁に密着して摺動し、吸気室と排気室を仕切ります。吸気室の容積が徐々に大きくなって吸引力が形成され、気体が吸入された後、容積の減少に伴って圧縮され、排気弁から排出されます。この一連の過程は1回転の周期内で完了するため、単段構造は粗真空領域や吸着を伴う用途に適しています。
オイルを使わずにどのように密封するのか：ベーン材料自体の潤滑性、および端面すきまと弁板の設計によって実現します。そのため、この種のポンプの実効排気速度と到達真空度は、構造上のすきまと弁板の状態に左右されます。摩耗後にまず現れるのは、通常、排気速度の低下、騒音の増加、温度上昇の増大であり、突然の故障ではありません。
メンテナンスの要点：吸気フィルターはポンプ室の最初の保護機構であり、フィルターが機能しなくなると粉塵が直接ポンプ室内に侵入し、ベーンとシリンダー壁の摩耗を促進します。ベーンと弁板は消耗部品であり、交換周期は実際の使用条件（媒体、運転時間、粉塵の状況）に応じて決めるもので、固定時間による強制的な交換には適していません。