成膜工場のポンプ室は、多くの場合チャンバーから少し離れている。3台の成膜チャンバーが1つのポンプユニットを共用し、基板装着、真空引き、成膜、大気開放、基板取り出しという1サイクルを回す。作業者が直接感じるのはタクトである。早番の炉では常圧から引き渡し圧力まで6 分かかり、午後には同じ炉で8 分半かかる。チャンバーは交換しておらず、ポンプも故障警報を出していないのに、パラメータが安定しない。
このように「引くほど遅くなる」状況の多くは、ポンプが壊れているのではなく、排気速度が中段で落ちている。以下は、実際の調査で繰り返し遭遇する箇所である。
一、予備排気は二段に分かれ、それぞれに必要なものが異なる
成膜チャンバーを常圧からプロセス真空まで引く場合、途中で二つの領域をまたぐ。常圧から数十ミリバールまでの区間はガス量が多く、粗引きの機械式ポンプで移送する。低真空に入った後はブースター段が引き継ぎ、圧力をさらに下げる。高真空域ではターボ分子ポンプまたは拡散ポンプに任せる。粗引きポンプが小さいと前段が遅くなり、ブースター段の組み合わせが適切でないと後段が遅れる。
この区間では、単段油回転ベーン真空ポンプが一般的な構成である。V0155 は排気速度 150 m³/h（50Hz）、モーター 4.0 kW、ガス