ルーツポンプ（メカニカルブースターポンプ）はそれ自体が大気へ直接排気するものではなく、ロータリーベーンポンプなどのバッキングポンプと真空チャンバーの間に設置され、ある圧力領域における排気速度を高める役割を担う。必要かどうかは、ガス量の大小と、その排気速度をどの圧力領域で必要とするかの2点で決まる。
適用する場合
- チャンバー容積が大きく、多量のガスを速く排気する必要があり、バッキングポンプだけで排気すると時間がかかりすぎる場合；
- プロセス上、低い動作圧力でも大きな流量を維持する必要があり、単体のバッキングポンプの排気速度曲線がその領域で明らかに低下している場合；
- 少量の凝縮性ガスや粉塵が存在し、圧縮比と前段トラップの組み合わせで処理する必要がある場合。
適用しない場合、または慎重に検討する場合
- 動作圧力がもともと非常に低い（高真空領域）場合、ルーツポンプは依然として中真空の範疇であり、高真空領域はターボ分子ポンプや拡散ポンプが担う；
- ガス量が少なくチャンバーが小さい場合、ブースタ段を追加しても得られる効果は限定的で、かえって1台分の保守と設置スペースが増える；
- ガスに多量の粉塵や液体が含まれる場合、そのままルーツポンプを通過させるとロータと隙間の摩耗を早めるため、前段でろ過とトラップを適切に行う必要がある。
構成上の要点：ルーツポンプとバッキングポンプは排気速度比に応じて組み合わせる。比率が大きすぎる場合は、リリーフバルブやバイパスで差圧を制限し、バッキングポンプの過負荷を避ける。起動順序は、まずバッキングポンプで基礎真空を形成し、その後ルーツポンプを投入して運転する。機種選定では実際の圧力-排気速度曲線に基づいて検討する。最大排気速度だけで比較すると選定を誤りやすい。
本稿は機種選定方法の説明であり、個別の工事記録ではありません。