2V80 / 2V275 二段式油封ロータリーベーン真空ポンプ

二段構造は二つのポンプ室を直列に接続します。前段で排気されたガスは後段でもう一度圧縮され、そのため到達真空度は単段の 0.5 mbar 級から 10⁻⁴ mbar 級まで低くなります。2V80 のガスバラスト閉時の到達真空度は 4×10⁻⁴ mbar、2V275 は 5×10⁻⁴ mbar、ガスバラスト開時はいずれも 5×10⁻³ mbar です。

2V80 の排気速度は 74 m³/h（50Hz）、3 kW、吸気口は ISO40/KF40、排気口は NW25/KF25、重量は 125 kg です。2V275 の排気速度は 255 m³/h、7.5 kW、吸気口は ISO63、排気口は ISO40、重量は 225 kg で、冷却水路を備えています：冷却回路の許容圧力は 3 bar、20℃ 時の推奨最小流量は 120 L/h です。

2V275 は冷却水の接続が必要です。これが 2V80 との設置上の主な違いです。循環水がない現場では、事前に冷却水チラーまたは水タンクを用意する必要があります。

主な用途：真空含浸、真空コーティング、マイクロエレクトロニクスおよび光電子半導体、パッケージテスト、プラズマ洗浄、真空乾燥および凍結乾燥の前段。これらのプロセスでは 10⁻³ mbar 以下の真空度が必要で、単段ポンプでは対応できません。

ガスバラスト弁は、水蒸気または凝縮性ガスを排気するときに開きます。この場合、到達真空度は 10⁻³ mbar 級まで戻ります。プロセスで到達真空度が必要なときはガスバラストを閉じ、同時に吸気側にコールドトラップを取り付けてください。