계산기는 엔지니어링 추정만 수행합니다. 실제 시스템에는 배관 유동 저항, 누설 및 재료 아웃개싱(outgassing)이 있으므로 추정값은 일반적으로 낙관적인 편입니다. 1.3~1.5배의 여유를 두는 것이 좋습니다.
배기 시간 추정
배기 속도 단위 환산
공식과 적용 기준
배기 시간은 등온, 일정 배기 속도의 단순화 모델로 계산합니다:
t = (V / S) × ln(P0 / P1)
- V: 챔버와 배관의 유효 용적, m³
- S: 목표 압력 구간에서 펌프의 유효 배기 속도이며, m³/s로 환산합니다(명판 배기 속도 ÷ 3600)
- P0 / P1: 초기 및 목표 압력(absolute), mbar
배기 속도는 극한 진공에 가까워질수록 눈에 띄게 감소하므로, 대기압에서 10 mbar까지 배기하는 경우와 10 mbar에서 1 mbar까지 배기하는 경우에 동일한 S를 적용할 수 없습니다. 두 구간으로 나누어 계산하는 편이 실제에 더 가깝습니다.
주요 파라미터
| 펌프 유형 | 배기 속도 범위 | 일반적인 목표 압력 구간 |
|---|---|---|
| 단일 스테이지 오일 씰 로터리 베인(V 시리즈) | 20 m³/h부터, 모델에 따라 | 대기압 ~ 0.1 mbar |
| 루츠 부스터 펌프(LC 시리즈) | 250 ~ 4200 m³/h | 30 ~ 0.01 mbar(전단 필요) |
계산된 배기 속도는 출발점일 뿐이며, 포트 구경, 배관 길이 및 엘보 수는 유효 배기 속도를 추가로 감소시킵니다. 운전 조건을 보내주시면 엔지니어가 실제 배관을 기준으로 재검토합니다.