운전 조건: 코팅, 건조 또는 검사용 챔버는 배치마다 상압에서 설정된 저진공도(일반적으로 10 ~ 20 kPa)까지 배기한 후 고진공 펌프로 이어서 배기합니다. 이 구간의 배기량이 가장 크므로 펌프를 작게 선정하면 택트 타임이 길어집니다.
선정 방향: 배기 시간은 t = (V / S) · ln(p₁ / p₂)로 추정하며, V는 챔버 용적, S는 유효 배기 속도, p₁은 시작 압력, p₂는 목표 압력입니다. 이 공식은 이상값을 제시합니다. 실제 배기 속도는 압력이 낮아짐에 따라 감소하며, 배관의 관경, 길이, 엘보와 밸브는 유효 배기 속도를 추가로 감소시키므로 실제 소요 시간은 계산값보다 길어집니다.
구성 방향: 0.5 m³ 챔버, 목표 10 kPa를 예로 들면, V25/40(40 m³/h)로 계산한 이론 배기 시간은 약 2분 수준이지만, 연결 배관 관경이 작거나 엘보가 많으면 눈에 띄게 길어집니다. 챔버가 크거나 여러 챔버가 한 대의 펌프를 공유할 때는 더 큰 배기 속도의 모델로 변경하거나 진공 탱크를 추가해 피크를 분담해야 합니다.
주의 사항: 공정 잔류물(분진, 수증기, 용매 증기)은 펌프 앞에 필터와 응축기를 설치해야 합니다. 펌프를 장비 내부에 설치할 때는 방열 공간을 확보해야 합니다. 장시간 연속 배기 시에는 본체 온도 상승에 주의해야 합니다.
본 페이지는 선정 방법 설명이며, 특정 프로젝트 기록이 아닙니다.