공정 조건: 하나의 생산 라인에 여러 스테이션이 시간대를 나누어 진공(흡착, 배기, 클램핑)을 사용하는 경우, 각 스테이션에 개별 펌프를 두면 설비 수, 배기 지점 및 유지보수 범위가 늘어나므로 진공원을 집중 구성하는 경우가 많습니다.
먼저 집계한 후 펌프 선정: 각 스테이션의 사용 진공도, 회당 사용 기체량, 동작 시간 및 동시 사용 계수를 명확히 정리해야 합니다. 펌프는 시스템의 평균 유량을 기준으로 선정하고, 진공 탱크는 순간 피크를 담당합니다. 탱크 용적은 피크와 저점의 차이 및 허용 압력 변동에 따라 결정합니다. 이 단계의 집계를 하지 않으면 피크 시간대에 진공도가 전체적으로 떨어지고 일부 스테이션이 흡착하지 못하는 현상이 나타날 수 있습니다.
배관: 메인 배관은 시스템 총유량에 따라 관경을 선정하고, 분기에는 밸브와 필터를 추가합니다. 분기 관경이 너무 작거나 밸브 응답이 느리면 먼저 동작한 스테이션이 유량을 가져가는 상황이 발생할 수 있습니다.
구성 방향: 오일리스 로터리 베인 펌프로 이러한 시스템을 직접 구성할 수 있으며, 배기는 집중 배관으로 모아 외부로 유도할 수 있습니다. 각 스테이션에서 요구하는 진공도 차이가 큰 경우에는 고진공 스테이션과 저진공 스테이션을 분리하는 단계별 구성을 권장합니다. 전체 시스템을 고진공 스테이션의 요구 조건에 맞추어 운전하는 것을 피하기 위해서입니다.
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