공정 조건: 분광기 등 광전 검사 및 분류 장비에서는 웨이퍼, 렌즈 또는 칩을 검사 스테이션에 안정적으로 흡착하여 측정 중 피측정물에 변위가 발생하지 않도록 해야 합니다. 분류 및 이송 단계에서는 흡착 운반이 필요할 수도 있습니다.
요구 사항: 흡착면은 대체로 작으며, 진공도가 안정적이고 뚜렷한 맥동이 없어 측정 시 공작물이 떨리지 않도록 해야 합니다. 검사는 클린 환경에서 진행되므로 배기 시 오일 미스트가 포함되어서는 안 됩니다. 스테이션이 많고 동작이 빈번하므로 펌프는 장비에 따라 빈번하게 기동 및 정지되어야 합니다.
구성 방향: 흡착 면적과 공작물 중량에 따라 필요한 진공도와 유량을 산정하며, 소형 오일리스 로터리 베인 펌프로 대부분의 스테이션을 충족할 수 있습니다. 한 대의 펌프로 여러 흡착 스테이션에 공급할 경우, 배관에 진공 탱크와 체크 밸브를 추가로 설치하여 스테이션 간 상호 간섭을 줄이는 것을 권장합니다. V8, V10, V16은 부피가 작아 장비 내부에 장착하기에 적합합니다.
주의 사항: 흡착 스테이션과 펌프 사이에 필터와 집진 장치를 추가로 설치하여 파편이 펌프 챔버로 유입되지 않도록 해야 합니다. 공작물이 얇고 깨지기 쉬운 경우 흡착력을 제한하고 압력 모니터링을 추가로 설치해야 합니다. 배관 커넥터의 누기는 흡착이 불안정해지는 흔한 원인이므로 정기적으로 점검해야 합니다.
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