진공 펌프의 기종 선택 차이는 주로 산업 자체가 아니라 공정에서 요구하는 진공도, 배기 속도 및 매체 조건에서 비롯됩니다. 같은 산업 안에서도 진공 흡착 이송과 챔버 사전 배기에 필요한 구성은 크게 다릅니다.
아래에서는 일반적인 적용 시나리오별로 요구 사항과 구성 방향을 정리합니다. 각 페이지에는 해당 공정에서 실제로 확인해야 하는 입력 항목과 배관, 필터링, 응축 등 부속 설비에 대한 권장 사항을 제시합니다.
적용 산업
공정의 진공도, 배기 속도 및 매체 요구 사항에 맞춰 기종을 선정
반도체 및 전자 제조
웨이퍼와 기판 흡착 유지, 부품 실장, 검사 공정 진공 흡입.
진공 코팅 및 표면 처리
코팅 챔버 예비 배기, 클램핑 흡착, 코팅 전 세정 및 배기 보조.
진공 열처리와 야금
로체 예비 배기, 진공 건조, 진공 탈기 및 진공 함침.
진공 포장 및 흡착 이송
포장기 배기, 진공 흡착패드 이송, 봉지 개방 및 성형 스테이션.
식품 및 제약
포장 흡기, 진공 탈기, 분체 이송 및 클린 작업 스테이션.
화학 및 증류
감압 증류, 진공 여과, 진공 탈기 및 용제 회수 전단.
중앙 진공 시스템 통합
다중 스테이션 집중 진공, 진공 탱크 및 배관 시스템 구성.
모델 선정이나 견적이 필요하신가요?
요구 배기 속도, 도달 진공도, 가스 종류, 분진 및 부식 여부, 운전 방식과 전원을 알려주시면 운전 조건에 맞는 모델을 제안해 드립니다.
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