코팅 라인의 진공 시스템은 일반적으로 단계별로 구성됩니다. 기계식 펌프가 대기압에서 저진공까지 배기하고, 이후 고진공 펌프가 이어받습니다. 오일 프리 로터리 베인 펌프는 전단과 예비 배기 구간에 자주 설치되며, 클램핑 흡착과 챔버 세정 스테이션에도 사용됩니다.
이러한 공정 조건에서는 세 가지를 주의해야 합니다. 첫째, 배기 기체에 포함된 공정 잔류물(소량의 분진, 수증기, 용제 증기)이 펌프 챔버로 유입되므로 펌프 전단에 필터와 콘덴서를 설치해야 합니다. 둘째, 예비 배기 시간은 택트에 직접 영향을 미치므로 챔버 용적, 요구되는 예비 배기 진공도, 펌프의 유효 배기 속도를 기준으로 산정해야 합니다. 셋째, 연속 운전 시 방열이며, 펌프를 장비 내부에 설치할 때는 통풍 공간을 확보해야 합니다.
배관 구경, 밸브, 엘보로 인한 압력 손실은 예비 배기 시간을 뚜렷하게 늘리므로, 선정 시 시스템 저항을 함께 계산에 포함해야 하며 펌프의 명판 배기 속도만 보아서는 안 됩니다.