진공 열처리로의 배기 과정은 대기 상태에서 시작되며, 전반부는 기계식 펌프가 담당합니다. 특징은 기체량이 많고 기동이 잦으며, 배출되는 기체의 온도와 습도가 다소 높을 수 있다는 점입니다.
오일 프리 로터리 베인 펌프는 예비 배기와 저진공 유지를 직접 담당할 수 있습니다. 로 내부에 휘발성 물질이나 수증기가 존재하는 경우, 펌프 전단에 응축 장치와 필터를 설치하고 응축액을 정기적으로 배출해야 합니다. 설정된 조진공도까지 배기하는 데 필요한 시간은 로체 용적과 펌프의 유효 배기 속도로 산출하며, 배관 구경이 부족하면 시간이 크게 늘어납니다.
진공 건조, 진공 탈기, 진공 함침(함침)의 작업 조건은 열처리와 유사합니다. 시작 시에는 대량의 상압 기체가 있고, 이후에는 소량의 수증기나 용제 증기가 발생합니다. 기종 선정 시 작업 진공도, 배기 속도, 1회 배기 시간 목표를 함께 제시합니다.