친환경과 신에너지 분야는 진공펌프에 요구하는 조건이 표면적으로는 크게 달라 보이지만, 공통점은 하나입니다: 흡입 매체가 깨끗하지 않다는 점입니다. 분진, 응축 가능 물질, 부식성 성분이 펌프 챔버로 들어가면 펌프 속도 저하는 시간 문제이므로 여과와 선정을 함께 결정해야 합니다.
중앙 진공 청소 시스템
작업장 청소, 설비 주변 집진, 투입구 집진이 하나의 진공원을 공유할 때 본체는 동시 사용 지점 수와 배관 총길이를 기준으로 구성해야 하며, 단일 지점 피크를 그대로 더해서는 안 됩니다.
- 관망의 마찰 압력 손실은 허용값에서 역산하여 관경을 정하고 경험에만 의존하지 마십시오. 주관에서 말단까지 구간별로 확대하고 엘보는 큰 곡률을 사용합니다.
- 배관 저점에는 배수를 설치하고, 습식 청소의 경우 본체 유입 전에 기수 분리를 추가합니다.
- 분진량이 많을 때는 본체 전단에 사이클론 예비 분리 + 정밀 여과를 추가하고, 두 단계 모두 차압계를 설치하며 시간이 아니라 차압에 따라 필터 요소를 교환합니다.
분체와 자재 진공 이송
이송은 유량과 안정적인 부압에 의존하며 극한 진공이 아닙니다. 선정 요점:
- 이송량을 기준으로 필요한 공기 유량을 환산한 뒤, 자재 적체와 배관 막힘에 대응하도록 1.3 ~ 1.5배 여유를 곱합니다.
- 간헐 이송(흡입—배출 사이클)은 시동/정지 빈도를 산정해야 하며, 시동이 잦은 경우 본체를 한 등급 크게 선택하고 버퍼 탱크를 추가하여 모터의 잦은 시동을 피합니다.
- 마모성 분체를 이송할 때는 흡입 여과와 배관 엘보가 주요 마모 지점이므로 점검구를 두어야 합니다.
신에너지 배터리 생산
리튬배터리 생산의 진공 공정은 주로 전극판과 셀 건조, 전해액 주입 전후의 챔버 진공 배기, 주입 후 탈기 및 안정화입니다.
| 공정 | 매체 특성 | 선정 방향 |
|---|---|---|
| 셀 / 전극판 건조 | 수분량 많음, 연속 운전 | 오일 실링 회전 날개 펌프에 가스 밸러스트를 열고 응축 및 기수 분리 구성; 또는 드라이 클로 펌프 |
| 주입 전 챔버 배기 | 청정, 리듬 요구 | 오일 프리 회전 날개 펌프 또는 드라이 클로 펌프, 챔버 체적과 리듬 기준 산정 |
| 주입 후 탈기 | 전해액 증기 포함, 응축 가능 | 오일 실링 모델 + 콜드 트랩 + 정기 오일 교환; 오일 사용을 피해야 하는 조건은 드라이 방식 선택 |
| 작업장 중앙 진공 | 다지점, 연속 | 중앙 진공 시스템, 여러 대 연동 교대 운전 |
전해액 증기가 펌프 오일에 미치는 영향은 직접적입니다. 오일이 흡수하면 점도와 윤활성이 모두 달라지므로 오일 교환 주기는 실제 매체에 따라 줄여야 하며 일반 표를 그대로 적용해서는 안 됩니다.
태양광과 코팅 공정
라미네이터 진공 배기, 코팅 라인과 PECVD의 전단 배기는 배기 시간을 제어할 수 있고 오일 미스트가 챔버를 오염시키지 않아야 합니다. 라미네이션 공정은 다단 루츠 펌프 세트로 빠른 거친 배기를 수행하고, 코팅 라인은 단일 단계 또는 이중 단계 오일 실링 회전 날개 펌프로 전단 배기를 수행하며, 구체적 구성비는 챔버 체적, 목표 압력과 전단 펌프의 동일 압력점에서의 펌프 속도를 기준으로 산정합니다.
일반 구성
- 흡입 여과: 분진 환경의 필수품이며 차압에 따라 교환합니다.
- 기수 분리와 콜드 트랩: 수분과 응축 가능 기체 조건의 필수품입니다.
- 버퍼 탱크: 간헐 사용, 다공정 공유 조건에서 피크를 줄이는 데 사용합니다.
- 배기 처리: 오일 실링 모델은 오일 미스트 분리를 구성하고, 작업장 배기는 별도로 연결합니다.
공정 단계, 매체 성분, 배기 리듬과 현장 전원을 보내 주시면 엔지니어가 운전 조건에 따라 모델과 구성 목록을 제시합니다. 일부 모델은 60Hz 지역에는 적용할 수 없으므로 주문 전에 저희와 확인해 주십시오.