제품 정보와 진공 펌프 사용, 선정에 관한 기술 노트를 이곳에 게시합니다.
내용은 당사의 실제 엔지니어링 경험과 공개된 제품 파라미터를 기반으로 하며, 검증할 수 없는 데이터는 인용하지 않습니다. 알고 싶은 주제가 있으시면 문의해 주시기 바랍니다.
제품 정보 및 진공 펌프 기술 노트
제품 정보와 진공 펌프 사용, 선정에 관한 기술 노트를 이곳에 게시합니다.
내용은 당사의 실제 엔지니어링 경험과 공개된 제품 파라미터를 기반으로 하며, 검증할 수 없는 데이터는 인용하지 않습니다. 알고 싶은 주제가 있으시면 문의해 주시기 바랍니다.
무급유 베인흡입 여과, 방열, 베인 마모 점검은 무유 펌프 유지보수의 세 가지 핵심입니다.
선정·구성청정 요구, 유지보수 조건, 공정 매체라는 세 가지 차원으로 판단합니다.
운전·유지보수여과 정밀도, 설치 위치와 교체 주기가 펌프 챔버 수명을 좌우합니다.
선정·구성배기 속도, 진공도, 매체, 운전 방식, 전원, 설치 공간 중 하나라도 빠지면 선택을 잘못할 수 있습니다.
무급유 베인배기에 오일이 포함되지 않고, 유지보수가 필터와 소모품에 집중되며, 적용하기 어려운 경우.
무급유 베인로터, 베인, 배기 밸브가 어떻게 흡입력을 형성하는지, 그리고 마모 후 먼저 나타나는 현상은 무엇인지.
운전·유지보수설치 위치, 배관 및 배기 조건, 최초 운전 체크리스트와 점검 순서.
선정·구성배관 구경은 유량에 따라 정하고, 배관은 짧을수록 좋으며, 밸브 통경은 펌프 포트보다 작지 않게 합니다.
운전·유지보수방진 설치, 호스 진동 차단, 배기 소음기, 소음 지표는 모델별로 확인해야 합니다.
루츠·시스템대량의 기체를 더 빠르게 배기해야 하거나 비교적 낮은 압력에서 유량을 유지해야 할 때에만 루츠 펌프를 부스터 단으로 사용합니다.
루츠·시스템코팅 공정의 펌프실은 대부분 챔버에서 어느 정도 떨어져 있습니다. 코팅 챔버 세 대가 하나의 펌프 그룹을 공유하고, 기판 장입, 진공 배기, 코팅, 벤트, 기판 배출까지 한 사이클이 끝나면 작업자가 가장 직접적으로 느끼는 것은 택트입니다. 아침 조의 한 로트는 상압에서 전환 압력까지 배기하는 데 6분이 걸렸는데, 오후의 같은 로트는 8분 반이 걸립니다. 챔버도 바뀌지 않았고 펌프도 고장을 보고하지 않았지만 파라미터는 안정되지 않습니다.
요구 배기 속도, 도달 진공도, 가스 종류, 분진 및 부식 여부, 운전 방식과 전원을 알려주시면 운전 조건에 맞는 모델을 제안해 드립니다.
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