코팅, 이온 도금, 스퍼터링 같은 공정에서 주 펌프는 보통 확산 펌프 또는 분자 펌프이며, 앞단에는 주 펌프의 배기 측을 작동 가능한 범위까지 낮추는 전단 펌프가 필요합니다. 전단 펌프를 잘못 선택하면 주 펌프가 진공을 올리지 못하거나 오일 역류로 챔버가 오염됩니다. 단단 오일 밀봉 회전 베인 펌프를 전단 펌프로 사용할 때 0.1 mbar라는 기준이 충분한지 자주 질문받습니다.
1. 먼저 두 압력을 구분합니다
- 전단 압력: 주 펌프 배기구 위치의 압력으로, 전단 펌프가 직접 결정합니다.
- 챔버 압력: 기판이 있는 위치의 압력으로, 주 펌프와 전단 펌프가 함께 결정합니다.
공정 요구가 5×10⁻³ mbar라고 해서 전단 펌프가 5×10⁻³ mbar까지 배기해야 하는 것은 아닙니다. 전단 펌프는 주 펌프 배기 측을 주 펌프에서 허용하는 전단 압력 상한 이하로 낮추면 되며, 이 값은 주 펌프 제조사가 제시합니다. 확산 펌프는 보통 0.10.5 mbar, 분자 펌프는 110 mbar 수준입니다.
2. 단단 오일 밀봉 펌프의 실제 성능
| 모델 | 펌핑 속도 50/60Hz | 도달 진공도(가스 밸러스트 닫음) | 도달 진공도(가스 밸러스트 열음) | 전력 |
|---|---|---|---|---|
| V0025A | 20 / 26 m³/h | 0.5 mbar | — | 0.75 kW |
| V0040A | 40 / 48 m³/h | 0.1 mbar | 0.5 mbar | 1.5 kW |
| V0063 | 63 / 75 m³/h | 0.1 mbar | 0.5 mbar | 2.2 kW |
| V0100 | 100 / 110 m³/h | 0.1 mbar | 0.5 mbar | 3.0 kW |
V0040A부터는 가스 밸러스트를 닫은 상태에서 0.1 mbar에 도달할 수 있어, 0.1~0.5 mbar의 전단 압력 요구를 충족하는 확산 펌프에 적합합니다. V0025A는 0.5 mbar에 그치므로 전단 압력 요구가 0.5 mbar 이상인 주 펌프에만 적합합니다.
3. 어떤 경우에 0.1 mbar로 부족한가
- 주 펌프가 더 낮은 전단 압력을 요구하는 경우: 주 펌프 설명서를 확인하여 5×10⁻² mbar 또는 그보다 낮게 표기되어 있으면 단단 펌