코팅 공정의 펌프실은 대부분 챔버에서 어느 정도 떨어져 있습니다. 코팅 챔버 세 대가 하나의 펌프 그룹을 공유하고, 기판 장입, 진공 배기, 코팅, 벤트, 기판 배출까지 한 사이클이 끝나면 작업자가 가장 직접적으로 느끼는 것은 택트입니다. 아침 조의 한 로트는 상압에서 전환 압력까지 배기하는 데 6분이 걸렸는데, 오후의 같은 로트는 8분 반이 걸립니다. 챔버도 바뀌지 않았고 펌프도 고장을 보고하지 않았지만 파라미터는 안정되지 않습니다.
이렇게 ‘배기할수록 느려지는’ 상황은 대부분 펌프가 고장 난 것이 아니라 중간 구간에서 배기 속도가 떨어진 것입니다. 아래 몇 가지는 실제 점검에서 반복적으로 마주치는 지점입니다.
1. 예비 배기는 두 단계로 나뉘고, 두 단계에서 필요한 것이 서로 다릅니다
코팅 챔버는 상압에서 공정 진공까지 배기하는 동안 두 구간을 거칩니다. 상압에서 수십 mbar까지의 구간은 가스량이 많아 전단 기계식 펌프가 담당합니다. 저진공에 들어가면 부스터 단이 이어받아 압력을 더 낮추고, 고진공 구간은 다시 터보 분자 펌프 또는 확산 펌프가 맡습니다. 전단 펌프를 작게 선정하면 전단이 느려지고, 부스터 단의 구성이 맞지 않으면 후단이 지연됩니다.
단단 오일 밀봉 회전 베인 펌프는 이 구간에서 일반적인 구성입니다. V0155는 배기 속도 150 m³/h(50Hz), 모터 4.0 kW, 가스 밸러스트를 닫은 상태의 극한 진공 0.3 mbar, 입출구 G2"입니다. 상위 모델인 V0160은 160 m³/h, 4 kW, 가스 밸러스트를 닫은 상태 0.1 mbar이고, V0202는 200 m³/h, 5.5 kW, 가스 밸러스트를 닫은 상태 역시 0.1 mbar입니다. 챔버가 더 큰 경우에는 V0302를 사용하며 300 m³/h, 7.5 kW입니다. 설치 위치가 좁고 280 m³/h 정도가 필요한 경우에는 V300B를 볼 수 있습니다. 5.5 kW, 가스 밸러스트를 닫은 상태 0.08 mbar, 본체 1100