루츠 펌프(기계식 부스터 펌프)는 그 자체로 대기 중으로 직접 배기하지 않으며, 로터리 베인 펌프 또는 다른 전단 펌프와 진공 챔버 사이에 설치되어 특정 압력 구간에서의 배기 속도를 높이는 역할을 합니다. 이 펌프의 필요 여부는 두 가지, 즉 기체량의 크기와 해당 배기 속도가 필요한 압력 구간에 따라 달라집니다.
적용 상황
- 챔버 용적이 크고 대량의 기체를 빠르게 배기해야 하며, 전단 펌프만으로 배기할 때 시간이 너무 오래 걸리는 경우;
- 공정에서 비교적 낮은 작동 압력에서도 큰 유량을 유지해야 하지만, 단일 전단 펌프의 배기 속도 곡선이 이 구간에서 이미 뚜렷하게 저하된 경우;
- 소량의 응축성 기체 또는 분진이 있어 압축비와 전단 포집을 함께 적용해 처리해야 하는 경우.
적용하지 않거나 주의가 필요한 경우
- 작동 압력 자체가 매우 낮은 경우(고진공 영역)에는 루츠 펌프가 여전히 중진공 범위에 속하므로, 고진공 영역은 분자 펌프 또는 확산 펌프가 담당해야 합니다;
- 기체량이 적고 챔버가 작으면 부스터 단을 추가해 얻는 이점이 제한적이며, 오히려 장비 한 대의 유지보수와 설치 공간이 늘어납니다;
- 기체에 다량의 분진 또는 액체가 포함된 경우 루츠 펌프를 직접 통과시키면 로터와 간극의 마모가 빨라지므로, 전단에서 여과와 포집을 충실히 해야 합니다.
구성 요점: 루츠 펌프와 전단 펌프는 배기 속도비에 맞추어 조합하며, 비율이 너무 클 때는 오버플로 밸브 또는 바이패스로 압력차를 제한해 전단 펌프의 과부하를 피할 수 있습니다. 기동 순서는 전단 펌프로 기본 진공을 먼저 형성한 뒤 루츠 펌프를 투입해 운전합니다. 선정 시에는 실제 압력-배기 속도 곡선으로 계산해야 하며, 최대 배기 속도만으로 비교하면 잘못 선정하기 쉽습니다.
본 문서는 선정 방법 설명이며, 특정 공정 기록은 아닙니다.