선정 회의에서 가장 흔한 오해는 극한 진공을 ‘이 펌프가 챔버를 얼마나 낮게 배기할 수 있는가’로 받아들이는 것입니다. 극한 진공과 작업 진공의 차이는 결국 한 값은 펌프 입구에서 무부하 상태로 측정하고, 다른 값은 용기 안에서 부하가 걸린 상태로 측정한다는 데 있습니다. 같은 V0100 한 대라도 사양서에는 0.1 mbar라고 적혀 있지만, 3미터 배관과 엘보 두 개, 밀봉면에 소량 누설이 있는 챔버에 연결하면 안정적으로 유지되는 압력은 0.4에서 0.5 mbar일 수 있습니다. 공정 가스가 열리면 더 높아질 수도 있습니다. 펌프가 고장 난 것이 아니라 계산을 잘못한 것입니다.
1. 두 값의 측정 조건은 같지 않습니다
극한 진공(사양서에서는 극한 압력이라고도 표기): 펌프에 규정대로 펌프 오일을 주입하고, 가스 밸러스트를 닫고, 흡입구를 막은 뒤 오일 온도가 안정될 때까지 운전했을 때, 입구 압력이 더 이상 내려가지 않고 점차 안정되는 값입니다. 측정점은 펌프 입구이며, 앞쪽에 배관도 용기도 가스 부하도 없습니다.
작업 진공: 챔버 안에서 유지해야 하는 압력입니다. 이 압력은 공정에서 정