2V80과 V0100의 사양을 나란히 놓으면 많은 사람이 처음에는 손해라고 생각합니다. 두 펌프의 모터는 모두 3 kW이고, 1단 V0100의 배기속도는 100 m³/h, 2단 2V80은 74 m³/h입니다. 배기속도는 더 작은데 출력은 같으니, 무엇 때문에 2단을 선택해야 할까요.
답은 사양표의 다른 줄에 있습니다——극한 진공. V0100은 0.1 mbar, 2V80은 4×10⁻⁴ mbar입니다. 이 두 숫자 사이의 차이는 약간의 여유가 아니라 두 자릿수이며, 어떤 공정에서는 1단 펌프로 도달할 수 없음을 결정합니다.
1. 구조상 차이점
1단 펌프는 작업 챔버가 하나뿐입니다: 흡입, 압축, 배기가 한 번에 완료됩니다. 극한 진공은 마지막 단이 만들 수 있는 압력비와 배기 밸브, 간극 누설, 펌프 오일의 포화 증기압의 영향을 받으며, 0.1 mbar에 도달하는 것은 일반적인 1단 구조의 수준에 속합니다.
2단 펌프는 두 챔버를 직렬로 연결하여 가스를 먼저 1단에서 중간 압력까지 압축한 다음 2단으로 보내 압축 후 배출합니다. 각 단이 담당하는 압력비가 작아지면서 누설과 역류의 상대적 영향이 줄어들고,