Mesin pengasingan optik: pegangan penjerapan wafer dan vakum stesen pemeriksaan

Keadaan kerja: Mesin pengasingan optik dan peralatan pemeriksaan serta pengasingan optoelektronik perlu memegang wafer, kanta atau cip secara stabil pada stesen pemeriksaan supaya objek yang diuji tidak bergerak semasa proses pengukuran; peringkat pengasingan dan pemindahan mungkin juga memerlukan pemegangan dan pengendalian melalui penjerapan.

Keperluan: Permukaan penjerapan biasanya sangat kecil, memerlukan tahap vakum yang stabil dan tiada denyutan ketara, bagi mengelakkan bahan kerja bergetar semasa pengukuran. Pemeriksaan dilakukan dalam persekitaran bersih, udara ekzos tidak boleh membawa kabus minyak; stesen banyak dan tindakan kerap, pam perlu dihidupkan dan dimatikan dengan kerap mengikut peralatan.

Arah konfigurasi: Kira tahap vakum dan aliran yang diperlukan berdasarkan luas permukaan penjerapan dan berat bahan kerja; pam ram berputar tanpa minyak bersaiz kecil boleh memenuhi kebanyakan stesen. Apabila satu pam membekalkan beberapa stesen penjerapan, disyorkan memasang tangki vakum dan injap sehala pada saluran paip untuk mengurangkan gangguan antara stesen. V8, V10, V16 bersaiz kecil dan sesuai dipasang di dalam peralatan.

Perhatian: Pasang penapis dan pengumpul habuk antara stesen penjerapan dan pam untuk mengelakkan serpihan memasuki ruang pam; apabila bahan kerja nipis dan mudah pecah, hadkan daya penjerapan dan pasang pemantauan tekanan; kebocoran udara pada penyambung paip adalah punca biasa penjerapan tidak stabil, perlu diperiksa secara berkala.

Halaman ini menerangkan kaedah pemilihan, bukan rekod projek tertentu.

Perlu bantuan pemilihan model atau sebut harga?

Sila berikan keperluan kelajuan pengepaman, vakum muktamad, jenis gas, keadaan habuk dan kakisan, mod operasi serta bekalan kuasa; kami akan mencadangkan model berdasarkan keadaan operasi.

Hubungi kami